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従来の機種は波長選択はフィルター式でしたが、新製品は当社で実績のある分光器を組み込み、任意の波長を選択できるようになりました。 膜厚変化の信号は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機構はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。 また膜厚計本体をI/Fによりパソコンと直結して制御できる様にしたことで、他のメーカーの様なコントローラーなどがなく、非常にコンパクトなシステムになっています。
蒸着装置へ取り付けて膜厚を監視します。右記のような取り付けが可能です。
反射型監視
透過型監視(投光器折り曲げ)
透過型監視(投光器直結)
受光器
投光器
電源ボックス
嵩上げフランジ※反射型ミラーボックスに付属
反射型ミラーボックス
透過型ミラーボックス
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