光学式膜厚計 OMD-1000

ホーム　>　光学機器　>　分光装置　>　OMD-1000

機器サイト内検索

光学機器ＴＯＰ
応用システム > 半導体素子開発 ブローバー照射用光源 高安定モノクロ光源 MLS-1510 モノクロメータ式分光光源 フィルター式分光光源 定エネルギー分光光源 PVL-3310 光化学用光源 フォトクロミック材料研究光源 光触媒用光源 光触媒用光源システム 光重合・光化学用光源 ＵＶ光源 ソーラーシミュレータ ソーラーシミュレータ350～1100nm HAL-320 ソーラーシミュレータ 1800nm タイプ HAL-320W ソーラーシミュレータ400～1100nm HAL-C100 フィードバック式 分光光源 定エネルギー分光光源 PVL-3310 透過測定 透過測定システム 反射測定 反射測定システム
光源装置 > LED光源 光反応用LED光源 CLシリーズ ソーラーシミュレータ ソーラーシミュレータ350～1100nm HAL-320 ソーラーシミュレータ 1800nm タイプ HAL-320W ソーラーシミュレータ400～1100nm HAL-C100 水銀光源 250W水銀光源 REX-250 キセノン光源 100Wキセノン光源 LAX-C100 300Wキセノン光源 MAX-350 300Wキセノン光源 MAX-303 400W2灯式キセノン光源 MAX-400D ハロゲン光源 100Wハロゲン光源 FHL-102 単色光光源 光反応用LED光源 CLシリーズ フィルター式分光光源 高安定モノクロ光源 MLS-1510 モノクロメータ式分光光源 定エネルギー分光光源 PVL-3310 デュアル光源 デュアル光源 光化学用光源 フォトクロミック材料研究光源 光触媒用光源 光触媒用光源 光重合・光化学用光源 ＵＶ光源
光源アクセサリー > 光学フィルター 光源装置用バンドパスフィルター ライトガイド （バンドルファイバー） ストレートライトガイド 分岐ライトガイド リングライトガイド ラインライトガイド グローブボックス用ライトガイド 真空用ライトガイド 均一照明レンズユニット ロッドレンズ RLQL80-1(1倍)/RLQL80-05(0.5倍)/RLQL80-2(2倍) 直結ロッドレンズ MAX-DRLQ1-S(ストレート)/MAX-DRLQ1-B(落射) 六角ロッドレンズ HRLQ-1 高密度照明 レンズユニット 高密度照明レンズ KLQ-2.5(φ2.5) / KLQ-5(φ5) テレセントリック レンズユニット テレセントリック均一照射ユニット TOU-1-31 / TOU-05-15 光化学照明プローブ 導光ロッドプローブ LGR6-150 / LGP2-30
分光機器 > モノクロメータ シングルモノクロメータ CMS-100(f=100) シングルモノクロメータ CMS-250(f=250) マルチチャンネル分光器 マルチチャンネル分光ユニット低ノイズタイプ HSU-100F マルチチャンネル分光ユニット高感度タイプ HSU-100H
測定装置 > 透過率測定器 透過率測定器 TLV-304-BP 視感透過率チェッカー TLV-304-LC 透過率測定器赤外線近接センサ材料向け TLV-304-IR 透過測定 透過測定システム 反射測定 反射測定システム
ＦＡ支援システム > 光学式膜厚計 光学式膜厚計 OMD-1000
光学モジュール > フィルターチェンジャー 自動フィルターチェンジャー FC8-25A / FC32-25A
オプティクス > 光学フィルター 光源装置用バンドパスフィルター 均一照明レンズユニット ロッドレンズ RLQL80-1(1倍)/RLQL80-05(0.5倍)/RLQL80-2(2倍) 直結ロッドレンズ MAX-DRLQ1-S(ストレート)/MAX-DRLQ1-B(落射) 六角ロッドレンズ HRLQ-1 高密度照明 レンズユニット 高密度照明レンズ KLQ-2.5(φ2.5) / KLQ-5(φ5) テレセントリック レンズユニット テレセントリック均一照射ユニット TOU-1-31 / TOU-05-15 光化学照明プローブ 導光ロッドプローブ LGR6-150 / LGP2-30
光ファイバーライトガイド > ライトガイド （バンドルファイバー） ストレートライトガイド 分岐ライトガイド リングライトガイド ラインライトガイド グローブボックス用ライトガイド 真空用ライトガイド ライトガイドアクセサリー ゲージポート GG-25/GG-40/GG-50

トピック

連絡先

東京本社/営業部
TEL:03-3909-1151
FAX:03-3909-1152
東日本営業所
TEL:0287-37-4763
FAX:0287-37-4001
大阪営業所
TEL:06-4807-1777
FAX:06-4807-1778

OMD-1000とは

蒸着中の基板の光量変化を単色光で監視する分光式の膜厚監視モニターです。自社の蒸着装置でも使用されており、蒸着部品メーカーとしてのノウハウの詰まった膜厚監視装置に仕上がっています。

製品カタログ

■概要

波長範囲も充実

従来の機種は波長選択はフィルター式でしたが、新製品は当社で実績のある分光器を組み込み、任意の波長を選択できるようになりました。
膜厚変化の信号は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機構はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。また膜厚計本体をＩ／Ｆによりパソコンと直結して制御できる様にしたことで、他のメーカーの様なコントローラーなどがなく、非常にコンパクトなシステムになっています。

特長

分光器搭載のコンパクトな設計
耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監視を実現(静電気放電試験耐圧 ±5kV)
PCからのコマンドにより自動制御可能
コントローラーを受光器本体に内蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを実現

本体構成と配線

製品概要

蒸着装置へ取り付けて膜厚を監視します。右記のような取り付けが可能です。

反射型監視

透過型監視
(投光器折り曲げ)

透過型監視
(投光器直結)

商品構成

受光器

投光器

電源ボックス

嵩上げフランジ
※反射型ミラーボックスに付属

反射型ミラーボックス

透過型ミラーボックス

■製品仕様

型式	OMD-1000
分光器タイプ	ツェルニーターナー型シングルモノクロ
波長範囲	保証範囲：380～900nm 動作可能範囲：350～1100nm
波長分解能	スリット0.5mm：4.2nm [546nm] スリット1.0mm：8.3nm [546nm]
波長精度	±1.0nm
最小波長送り	0.1nm
外部制御	RS232C
外部出力端子	DC0～2V (フルスケール時)
サンプリング間隔	100ms以上
静電気放電試験耐圧	±5kV (実績8kV)
光源	12V100W ハロゲンランプ
光量安定性	±0.1%/h 以下
入力電圧	AC100V 50/60Hz
許容入力電圧	AC85～132V
皮相電力	340VA以下
使用環境	温度 10～35℃ 湿度 20～80％

※製品仕様、外観などは予告なく変更する場合がありますので、あらかじめご了承ください。