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特注品/OEM

朝日分光では、さまざまな難題を抱えるお客様からの要望に応えるため、光学ソリューション事業の一環として特注機器の設計・製作を行なっています。特注品実績の一例を下記にてご紹介させて頂きます。

ゴニオフォトメータ―

基板表面の絶対反射率や透過率、位相差を測定する装置

ゴニオフォトメーター1 ゴニオフォトメーター2

測定方式

シングルビーム測光・検光子回転法

測定波長範囲

350～850nm

波長分解能

0.6nm,1.0nm,1.6nm,2.0nm

波長送り

0.1nm

設定角度

0～360°(反射率測定時の最小測定角度は12.5°)

角度送り

0.1°

装置寸法

1030(W)Ｘ1160(D)Ｘ1350(H)mm

質量

250kg

装置の特徴

当社独自の機構により、測定光が測定試料に対して角度設定を行なう機構となっており、測定試料を水平状態にしたまま測定できます。これにより、測定試料をステージ上に水平に置いた状態で測定できますので、セッティングが非常に楽にできます

自動制御

制御系はすべてパソコンからの操作で、波長送りや測定角度の設定などの制御は、自動で行ないます。測定したデータは、パソコンの画面上で表示スケール、表示範囲、グラフ軸などの設定を変更したり、複数のデータの重ね書き、測定値の確認、印刷などができます。

反射率・透過率・位相差測定装置

大型光学部品(液晶露光装置のミラー等)の現品検査装置

反射率・透過率・位相差測定装置1 反射率・透過率・位相差測定装置2

測定方式

変角測定(ゴニオマウント)方式・シングルモノクロ測光

測定波長範囲

250～900nm

波長分解能

1.6nm 3.2nm 4.8nm

波長送り

0.1nm

設定角度

0°～360°(投光・受光器共)

角度送り

0.01°

装置寸法

1570(W)Ｘ2580(D)✕2830(H) mm

質量

2000kg

大型試料の測定に対応

外径が1mを越え、質量が800kgを越えるような大型の光学部品の反射などを、実装前に(または製造工程の途中で)測定したいと言う要求に応えました。通常この種の測定には、試料を動かして反射光路の精度を出すのですが、我々は独自の発想により測定試料は搬送台の上などに寝かせた状態のまま測定でき、測定光束を任意の角度から入射できるようにしました。また部品のセッティング時に測定試料に破損などのダメージを与えない事も大切ですが、取扱者への安全上の配慮も大きな課題でありましたが、この方式によりこれらの点も解決しました。

独自の光路設計

測定器の安定性を考慮しこの測定器の心臓部ともなる光源や分光器は、装置後方のベース上に設置しました。そこから出射された測定光が回転アームのシャフト内部を通りアーム先端部より出射されます。反射の測定は、試料のセッティング毎に、投光光路に対して受光光路が変化し易くそのために試料の高いセッティング精度、機械精度が要求されます。更に、大型試料の反射率などを任意の角度で測定出来るように、回転アーム（投光用、受光用）の長さを長くした事から、光路の総長は5mにも及びます。そのため熱による光路の変化を起こしにくい様な機械設計になっております。(特許取得：第3446120号)

イメージセンサー検査照射装置

光センサや撮像素子等の特性を測定する際、分光された一定のエネルギーの光で撮像素子を照射する装置

イメージセンサー検査照射装置

波長範囲

300～1100nm

照射領域

36×36mm以上

照射照度

0.1～15µW/cm2(λ=300～399nm及び701～1100nm,半値幅20nm,照射領域36×36mmの中心)
0.1～30µW/cm2(λ=400～700nm,半値幅20nm,照射領域36×36mmの中心)

照射面内均一性

±2％　中心部　10×10mm
(λ＝400～700nm，半値幅20nm，照射領域36×36mm、15μW/cm2に設定時)

±5％　中心部　28×28mm
(λ＝400～700nm，半値幅20nm，照射領域36×36mm、15μW/cm2に設定時)

±10%　目標値　36×28mm
(λ＝300～1100nm，半値幅20nm，照射領域36×36mm、15μW/cm2に設定時)

波長純度

20nm ±10％(半値幅，λ＝435.84nm)
10nm ±10％(半値幅，λ＝435.84nm)
5nm　±10％(半値幅，λ＝435.84nm)

装置寸法

900(W)Ｘ1000(D)Ｘ600(H)mm

質量

120kg

高出力の白色光光源

本装置は、高出力の白色光源(キセノンランプとハロゲンランプ)の光から、分光器(モノクロメータ)により単色光(半値幅5～20nm)を取り出し、フライアイを利用した光学系により撮像素子面を均一に照明します。また、本装置に内蔵されたフォトディテクタにより照射中の光の強さを検知し、NDフィルターを利用して指定したパワーにコントロールします。

2種類の動作モード

本装置は、リモートモードとローカルモードの2種類の動作モードを搭載。
(1)リモートモード：外部のホストコンピュータから、GP-IBインターフェースからのコマンドにより動作します。
(2)ローカルモード：本装置に組み込みのコンピュータを操作することにより動作します。

極紫外域　透過率測定装置

ロードロック機構を採用した、完全窒素パージによる紫外専用測定装置

極紫外域　透過率測定装置

測定項目

透過率測定

測定方式

ダブルビーム測光・シングルビーム測光　任意切替

測定波長範囲

140～300nm

波長分解能

1.6nm

波長送り

0.1nm

ベースライン安定性

ダブルビーム時0.05%以下

装置寸法

1900(W)Ｘ1400(D)Ｘ1600(H)mm

質量

1100kg

装置の特徴

紫外域の測定でオゾンや酸素による吸収の影響を無くすため、N2パージを行うことで高精度な透過率測定を可能にした装置です。また試料の出し入れ時に、パージ環境の変化を出来るだけ小さくするように測定室とは別に予備室(ロードロック室)を設けています。測定をする時、測定室をパージして安定した状態にするまでには非常に時間が掛かります。その時間をできるだけ短縮して測定ができるように、測定試料の出し入れを行うロードロック室と測定室とを別にしました。それにより測定室は常にパージされた状態になっています。測定試料はロードロック室にセットしておき、パージを開始します。そしてある一定の酸素濃度まで下がったところで、間に設けたゲートバルブが開き、自動で測定室に搬送され測定が行われます。測定が終了すると、再びゲートバルブが開き、ロードロック室へ戻ってきます。

低ノイズ高精度な測定

この装置は極紫外から紫外までの広い範囲で、ベースラインの安定性を±0.05％以下を実現するため少しでも多くの測定光量を必要とします。光源から受光器までの光路長は4mにも及び、光源の光量を効率良く測定室に導くため、さまざまな非球面鏡の内製化を行い、それらを用いる事で高性能を実現しています。

完全無給油のクリーン仕様

装置内は、測定サンプルをコンタミや汚れなどの原因にならない様に、完全無給油のオイルレス構造になっており、また紫外光のソーラリゼーションによる劣化を起こす事のないよう、使用している材質にも配慮しております。

真空紫外測定器との違い

測定チャンバー内を真空にすると、内部を構成している材料の内部からさまざまな汚染物質が微量ながらも真空中に浮遊してしまい、測定試料を汚す原因となってしまいます。そのためモニターサンプルであれば良いのですが、実際に使用する試料では問題が出てしまいます。そのような測定は、やはりこのパージ方式による測定の方がそのような心配はありません。


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