分光装置:光学式膜厚計(膜厚監視)

従来の機種は波長選択はフィルター式でしたが、新製品は弊社で実績のある分光器を組込み、任意の波長を選択できるようになっています。また波長範囲も400〜800nmから380〜1600nmと大巾に拡大しました。膜厚変化の信号は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機構はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。 また膜厚計本体をＩ／Ｆによりパソコンと直結して制御できる様にしたことで、他のメーカーの様なコントローラーなどがなく、非常にコンパクトなシステムになっています。

• 分光器搭載のコンパクトな設計。
• 高い安定性により、高精度な成膜を実現。(ノイズ安定性±0.05％以下)
• 耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監視を実現。(静電気放電試験耐圧 ±5kV)
• PCからのコマンドにより自動制御可能。
• コントローラーを受光器本体に内蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを実現。

※製品仕様、アプリケーション等は改良のため、予告なく変更することがございます。ご了承ください。